多家晶圆厂在加速验证导入本土KrF光刻胶

目前信越化学KrF光刻胶产能不足，我国多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张，部分中小晶圆厂甚至遭遇了断供，多家晶圆厂在加速验证导入本土KrF光刻2021-05-27 09:06