在一颗芯片诞生的过程中，光刻是最关键又最复杂的一步。说最关键，是因为光刻的实质将掩膜版上的芯片电路图转移至硅片，化虚为实。说最复杂2020-11-27 09:31
《科创板日报》记者从ASML获悉，其公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格，这是30mJ cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶2020-10-15 09:57
半导体工艺的进步一直备受关注，尤其是国产半导体技术差距依然很大，每一步都走得很艰难，每一步都令人鼓舞。日前，韩国媒体报道称，国内最2019-12-13 11:10
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